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簡要描述:1200度滑動式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動,可使?fàn)t管快速冷卻;本機(jī)可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 博萊曼特 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
1200度滑動式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動,可使?fàn)t管快速冷卻;本機(jī)可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。
控溫儀表操作視頻
產(chǎn)品型號 | 滑動式真空管式爐YB-1200GH | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:需要選配冷水機(jī) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費改制成為雙卡套接頭) | ||
主要特點 | 1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、滑軌式結(jié)構(gòu),方便取放樣品以及快速冷卻。 3、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己鸵粋€額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。 4、采用PID控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:單相220V/380V 8KW 2、石英管:外徑80mm,內(nèi)徑70mm,長1500mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域:400mm 5、恒溫區(qū)域:200mm 6、工作溫度:≤1100℃,連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、升降溫速率:≤10℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵) 10、熱偶檢測真空接口:KF-25口:1個 11、進(jìn)氣接口:2路(可根據(jù)客戶要求設(shè)計多路進(jìn)氣),精密不銹鋼針閥密封 12、爐體:1300mm×680mm×920mm 13、滑軌:600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管堵 | 1個 |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個 | |
可選配件 | 1、軟件接口 2、K型熱電偶(用于對爐膛溫度校準(zhǔn)) 3、冷水機(jī) 4、高速雙極旋片泵 5、數(shù)顯真空計 6、高真空機(jī)組(機(jī)械泵和渦輪分子泵) 5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) 6、石英樣品架 7、可移動爐架(800mm×600mm) |
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